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    特種氣體的幾種供應系統

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      通常,特種氣體根據氣體性質不同分為惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據供應包裝的不同分為特種氣體和大宗特種氣體,不同的氣體選擇的供氣系統的也不相同,下面給大家介紹一下幾種供應系統。
      1、簡單供氣系統
      簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單,通常不需要連續性供氣,對氣體供應系統的投資預算低。
      2、常規供氣系統
      常規供氣系統主要應用于4-6英寸大規模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產線,發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業,對氣體純度控制的要求不苛刻,系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節省投資。
      3、大宗特氣供氣系統
      大宗特氣供應系統采用全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。

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